一種用于光刻機照明系統(tǒng)的自由光瞳生成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011406432.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112462577A 公開（公告）日 2021-03-09
申請公布號 CN112462577A 申請公布日 2021-03-09
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 牛志元;施偉杰 申請（專利權(quán)）人 東方晶源微電子科技（北京）有限公司深圳分公司
代理機構(gòu) 深圳市智享知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王琴
地址 518000廣東省深圳市福田區(qū)福保街道福田保稅區(qū)英達利科技數(shù)碼園C座301F室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種用于光刻機照明系統(tǒng)的自由光瞳生成方法，在該方法中，具體實現(xiàn)采用Python腳本語言編寫，該優(yōu)化方法分為兩大部分功能：首先，把微反射鏡數(shù)目作為一個連續(xù)而非離散的變量進行連續(xù)函數(shù)的優(yōu)化，得到連續(xù)反射鏡數(shù)條件下的優(yōu)化結(jié)果；然后，由于反射鏡數(shù)實際是整數(shù)，將連續(xù)的反射鏡數(shù)進行離散化以得到最終的優(yōu)化結(jié)果。本發(fā)明提供的技術(shù)方案實際產(chǎn)生的自由光瞳與理想光瞳光刻性能相匹配，對反射鏡光斑的位置進行優(yōu)化進一步縮小了誤差，有利于提高光刻工藝的分辨率。??