一種衡量光瞳之間匹配程度的評(píng)價(jià)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011255868.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112305874A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112305874A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-02 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 牛志元;施偉杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 東方晶源微電子科技（北京）有限公司深圳分公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市智享知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 羅芬梅 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市福田區(qū)福保街道福田保稅區(qū)英達(dá)利科技數(shù)碼園C座301F室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種衡量光瞳之間匹配程度的評(píng)價(jià)方法，該方法包括以下步驟，步驟S1：設(shè)定目標(biāo)光瞳及生成光瞳；步驟S2：根據(jù)目標(biāo)光瞳的光強(qiáng)矩陣及生成光瞳的光強(qiáng)矩陣計(jì)算出方均根指標(biāo)值和重疊積分指標(biāo)值；步驟S3：分別對(duì)目標(biāo)光瞳及生成光瞳建立仿真模型，以得到目標(biāo)光瞳仿真模型及生成光瞳仿真模型；步驟S4：建立測(cè)試圖形組；步驟S5：應(yīng)用目標(biāo)光瞳仿真模型對(duì)測(cè)試圖形組做掩模優(yōu)化以得到掩模優(yōu)化后的測(cè)試圖形；步驟S6：對(duì)掩模優(yōu)化后的測(cè)試圖形進(jìn)行仿真，并比較目標(biāo)光瞳和生成光瞳在掩模優(yōu)化后的測(cè)試圖形上的CD差異。本發(fā)明提供的評(píng)價(jià)方法使得用戶能夠直觀、量化地評(píng)價(jià)生成光瞳和目標(biāo)光瞳之間的差異對(duì)于光刻性能的影響。?? |
