一種計算光刻投影物鏡中朗奇剪切干涉圖像的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011148935.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112114501A 公開（公告）日 2020-12-22
申請公布號 CN112114501A 申請公布日 2020-12-22
分類號 G03F7/20(2006.01)I;G01J9/02(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 牛志元;施偉杰 申請（專利權）人 東方晶源微電子科技（北京）有限公司深圳分公司
代理機構 深圳市智享知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 東方晶源微電子科技（北京）有限公司深圳分公司
地址 518000廣東省深圳市福田區(qū)福保街道福田保稅區(qū)英達利科技數(shù)碼園C座301F室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種計算光刻投影物鏡中朗奇剪切干涉圖像的方法，在該方法中，光源發(fā)出的光從物方光柵到像方光柵的過程中采用嚴格的光刻矢量模型進行計算，同時可以適用于任意形狀的物方、像方光柵；并且光從像方光柵到接收屏的過程中采用嚴格的Rayleigh?Sommerfeld衍射積分進行計算。本發(fā)明提供的計算光刻投影物鏡中朗奇剪切干涉圖像的方法由于采用嚴格的光刻矢量模型以及Rayleigh?Sommerfeld衍射積分進行計算，所以無需考慮物方、像方光柵的近場或遠場，接收屏也無需考慮傍軸近似等因素，避免了傳統(tǒng)測試方法局限性大導致難以精確的得到剪切干涉圖像的問題。??