一種溝渠式肖特基二極管

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820473005.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN207977319U 公開（公告）日 2018-10-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN207977319U 申請(qǐng)公布日 2018-10-16
分類號(hào) H01L29/872;H01L29/06 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王錳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海芯石半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)祖沖之路1077號(hào)2幢1152-B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種溝渠式肖特基二極管，包括基板、磊晶層、摻雜層、金屬層、半導(dǎo)體層和溝槽，基板底部設(shè)有第一電極，基板頂部設(shè)有磊晶層，磊晶層頂部設(shè)有摻雜層，摻雜層頂部設(shè)有金屬層，摻雜層和金屬層之間間隔設(shè)有若干溝槽，溝槽底部設(shè)有氧化層，溝槽內(nèi)部設(shè)有半導(dǎo)體層，金屬層頂部設(shè)有第二電極，該種溝渠式肖特基二極管，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)完整緊湊，通過(guò)若干個(gè)溝槽的設(shè)置，在溝槽填入具有高功函數(shù)的金屬材料，從而提高肖特基二極管的順向偏壓特性，可承受高逆向偏壓，當(dāng)肖特基二極管處于正向偏壓時(shí)，通過(guò)摻雜層的設(shè)置，從而使得肖特基二極管在加載較小的正向電壓時(shí)就能獲得較好的電流信號(hào)值的效果，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，適合推廣使用。