一種具有復(fù)合溝槽結(jié)構(gòu)的碳化硅肖特基器件及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811560544.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109509795A 公開(kāi)（公告）日 2019-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN109509795A 申請(qǐng)公布日 2019-03-22
分類(lèi)號(hào) H01L29/872（2006.01）I; H01L21/329（2006.01）I; H01L29/40（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 關(guān)世瑛; 王金秋 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海芯石半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201203 上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)祖沖之路1077號(hào)2幢1152-B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種具有復(fù)合溝槽結(jié)構(gòu)的碳化硅肖特基器件；該器件具有復(fù)合結(jié)構(gòu)的溝槽，溝槽的頂部有P型摻雜區(qū)，溝槽側(cè)壁有絕緣層區(qū)，溝槽底部有P型摻雜區(qū)，溝槽底部P型摻雜區(qū)是由2個(gè)或多個(gè)摻雜的錯(cuò)位疊加刻蝕的溝槽底角構(gòu)成，較傳統(tǒng)溝槽型JBS肖特基器件，更容易實(shí)現(xiàn)深的、窄的、底角曲率半徑大的溝槽，優(yōu)化器件性能；另外，本發(fā)明的碳化硅肖特基器件的制程，與傳統(tǒng)的溝槽型JBS肖特基器件的制程兼容，容易實(shí)現(xiàn)。