晶圓電鍍?cè)O(shè)備自動(dòng)上下料裝置掛具移動(dòng)開合機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121787077.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215887298U 公開（公告）日 2022-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN215887298U 申請(qǐng)公布日 2022-02-22
分類號(hào) C25D21/10（2006.01）I;C25D21/00（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I;C25D5/54（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 孫永勝;劉四化;李松松;祁志明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫吉智芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214194江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)優(yōu)谷產(chǎn)業(yè)園75號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型是晶圓電鍍?cè)O(shè)備自動(dòng)上下料裝置掛具移動(dòng)開合機(jī)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在機(jī)架上的掛具移動(dòng)機(jī)構(gòu)和掛具開合機(jī)構(gòu)，掛具移動(dòng)機(jī)構(gòu)滑動(dòng)連接在導(dǎo)軌上，掛具開合機(jī)構(gòu)安裝在導(dǎo)軌中部上方的頂安裝架上，頂安裝架底端安裝在導(dǎo)軌外側(cè)的機(jī)架上。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，實(shí)現(xiàn)了對(duì)電鍍掛具的自動(dòng)轉(zhuǎn)移和掛具蓋板的自動(dòng)裝卸，可實(shí)現(xiàn)對(duì)電鍍掛具的轉(zhuǎn)動(dòng)有助于進(jìn)入后續(xù)電鍍機(jī)構(gòu)進(jìn)行自動(dòng)電鍍，可配合外設(shè)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)晶圓向電鍍掛具內(nèi)的自動(dòng)裝卸，有效提高了生產(chǎn)效率，避免破損。