水平式晶圓電化學(xué)沉積設(shè)備電化學(xué)沉積槽

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121150004.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214937907U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN214937907U 申請(qǐng)公布日 2021-11-30
分類(lèi)號(hào) C25D17/00（2006.01）I;C25D17/08（2006.01）I;C25D21/10（2006.01）I;C25D3/38（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I 分類(lèi) 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 祁志明;李松松;孫永勝;李程 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 無(wú)錫吉智芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214000江蘇省無(wú)錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)優(yōu)谷產(chǎn)業(yè)園75號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型是水平式晶圓電化學(xué)沉積設(shè)備電化學(xué)沉積槽，其結(jié)構(gòu)包括安裝在機(jī)架上的槽體支架內(nèi)的沉積槽本體，槽體支架側(cè)壁設(shè)溢流口，沉積槽本體內(nèi)設(shè)攪拌機(jī)構(gòu)，沉積槽本體包括從下至上依次設(shè)置的銅球放置鈦籃、下均勻性孔板、環(huán)形的安裝板、可轉(zhuǎn)動(dòng)的的內(nèi)定齒輪環(huán)、與溢流口連通的帶溢流口環(huán)形板、上均勻性孔板和環(huán)形側(cè)壁，上均勻性孔板上方放置產(chǎn)品，銅球放置鈦籃底部連接陽(yáng)極接線，陽(yáng)極接線接觸槽體支架內(nèi)底部陽(yáng)極接線柱，環(huán)形側(cè)壁外側(cè)面連接陰極接線，槽體支架底部還設(shè)進(jìn)液/排液口。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：可有效支撐產(chǎn)品，設(shè)置雙層均勻性孔板，配合攪拌機(jī)構(gòu)，可對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行有效充分電化學(xué)沉積，有助于提高整體設(shè)備填孔能力、片內(nèi)均勻性和生產(chǎn)效率。