水平式晶圓電化學(xué)沉積設(shè)備電化學(xué)沉積槽攪拌機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121201888.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215404599U | 公開（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215404599U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-04 |
| 分類號(hào) | C25D17/00（2006.01）I;C25D21/10（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I | 分類 | 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 李松松;孫永勝;祁志明;李程 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫吉智芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)優(yōu)谷產(chǎn)業(yè)園75號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型是水平式晶圓電化學(xué)沉積設(shè)備電化學(xué)沉積槽攪拌機(jī)構(gòu)，其特征包括攪拌風(fēng)葉和馬達(dá)，攪拌風(fēng)葉位于安裝在機(jī)架上的沉積槽內(nèi)的均勻性孔板上方且由同步齒輪組傳動(dòng)連接，同步齒輪組位于沉積槽中部環(huán)形的安裝板向內(nèi)圓心側(cè)的延伸部上且與位于安裝板上部的內(nèi)定齒輪環(huán)內(nèi)圈嚙合連接，內(nèi)定齒輪環(huán)外圈嚙合連接位于沉積槽外側(cè)的機(jī)架上的主動(dòng)齒輪，機(jī)架上的馬達(dá)傳動(dòng)連接主動(dòng)齒輪。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，對(duì)電化學(xué)液進(jìn)行有效攪拌，配合沉積槽內(nèi)均勻性孔板，可有效實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行充分電化學(xué)沉積，提高生產(chǎn)效率，改善處理質(zhì)量。 |
