晶圓電鍍?cè)O(shè)備自動(dòng)上下料裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110879481.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113481575B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-04-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113481575B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-04-12 |
| 分類(lèi)號(hào) | C25D17/00;C25D7/12 | 分類(lèi) | 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 孫永勝;李松松;祁志明 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 無(wú)錫吉智芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214194 江蘇省無(wú)錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)優(yōu)谷產(chǎn)業(yè)園75號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明是晶圓電鍍?cè)O(shè)備自動(dòng)上下料裝置，其結(jié)構(gòu)是機(jī)架上的上下料機(jī)構(gòu)與定圓心及檢測(cè)機(jī)構(gòu)相鄰設(shè)置，上下料機(jī)構(gòu)與中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)相鄰設(shè)置，中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)兩側(cè)設(shè)導(dǎo)軌，導(dǎo)軌由中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)兩側(cè)延伸至中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)另一端兩側(cè)后部，掛具移動(dòng)開(kāi)合機(jī)構(gòu)包括掛具移動(dòng)機(jī)構(gòu)和掛具開(kāi)合機(jī)構(gòu)，掛具移動(dòng)機(jī)構(gòu)滑動(dòng)連接在導(dǎo)軌上，掛具開(kāi)合機(jī)構(gòu)安裝在中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)與導(dǎo)軌遠(yuǎn)離中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)的一端之間的機(jī)架上的頂安裝架上。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：實(shí)現(xiàn)了晶圓電鍍前后的自動(dòng)上下料和輸送，有效提高了生產(chǎn)效率，防止破損。 |
