一種高通量平面光源裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410161388.3 申請日 -
公開（公告）號 CN104253013B 公開（公告）日 2018-04-03
申請公布號 CN104253013B 申請公布日 2018-04-03
分類號 H01J63/08;H01J61/52;H01J63/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 夏維東;王城;夏凡 申請（專利權(quán)）人 合肥碳藝科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥市長遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)先進(jìn)技術(shù)研究院;合肥碳藝科技有限公司
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)望江西路5089號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種高通量平面光源產(chǎn)生的裝置，主要包括一管狀弧室、n個棒狀陰極、一個中間具有圓孔的板狀陽極、一個石英透射窗口；弧室的一端為板狀陽極，另一端安裝石英透射窗口；n個陰極發(fā)射端位于弧室內(nèi)正n邊形的各個頂點；所述n邊形、弧室、陽極圓孔共軸線；在弧室壁面陰極周圍分布?xì)怏w注入孔縫；從n個陰極發(fā)射端始發(fā)的電弧匯聚至陽極圓孔，形成大致均勻的圓盤狀等離子體，產(chǎn)生的高強度輻射光直接和經(jīng)弧室壁面反射，在透射窗口外形成較為均勻的高通量平面光源；強迫氣體的流動穩(wěn)定電弧，保護(hù)透射窗、弧室壁面免受電極燒蝕蒸氣污染。本發(fā)明提高電弧功率、增強發(fā)光功率，氣體流動設(shè)計保護(hù)透射窗口及弧室壁面免受金屬蒸氣污染。