磁性隧道結(jié)的參考層的制備方法、磁性隧道結(jié)的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610898458.2 申請日 -
公開（公告）號 CN107958954A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN107958954A 申請公布日 2021-07-13
分類號 H01L43/12;H01L43/08 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉魯萍;簡紅;蔣信 申請（專利權(quán)）人 浙江?？蛋苍喘h(huán)?？萍加邢薰?/a>
代理機構(gòu) 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 趙囡囡;梁文惠
地址 311121 浙江省杭州市余杭區(qū)文一西路998號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種磁性隧道結(jié)的參考層的制備方法、磁性隧道結(jié)的制備方法。該磁性隧道結(jié)的參考層的制備方法包括采用沉積工藝設(shè)置參考層的各膜層，采用等離子體處理各膜層中的一層或多層，以及對等離子體處理后的各膜層中的一層或多層進行退火處理。利用退火處理對等離子體處理之后的一層或多層膜層進行原位熱處理，進而減少或者消除等離子體處理可能造成的損傷或缺陷，改善參考層的表面特性，進而提高具有該參考層的磁性隧道結(jié)的綜合性能，比如提高磁性隧道結(jié)的TMR值，降低其RA值。