磁性隧道結(jié)的參考層的制備方法、磁性隧道結(jié)的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610898458.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107958954B 公開(kāi)（公告）日 2021-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN107958954B 申請(qǐng)公布日 2021-07-13
分類號(hào) H01L43/12;H01L43/08 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉魯萍;簡(jiǎn)紅;蔣信 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江?？蛋苍喘h(huán)保科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 趙囡囡;梁文惠
地址 311121 浙江省杭州市余杭區(qū)文一西路1500號(hào)1幢311
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種磁性隧道結(jié)的參考層的制備方法、磁性隧道結(jié)的制備方法。該磁性隧道結(jié)的參考層的制備方法包括采用沉積工藝設(shè)置參考層的各膜層，采用等離子體處理各膜層中的一層或多層，以及對(duì)等離子體處理后的各膜層中的一層或多層進(jìn)行退火處理。利用退火處理對(duì)等離子體處理之后的一層或多層膜層進(jìn)行原位熱處理，進(jìn)而減少或者消除等離子體處理可能造成的損傷或缺陷，改善參考層的表面特性，進(jìn)而提高具有該參考層的磁性隧道結(jié)的綜合性能，比如提高磁性隧道結(jié)的TMR值，降低其RA值。