一種氮化硼坩堝的氣相沉積爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121497279.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214693922U 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN214693922U 申請公布日 2021-11-12
分類號 C04B35/583（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 何軍舫;王軍勇 申請（專利權(quán)）人 博宇（朝陽）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京華專卓海知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王文峰
地址 122000遼寧省朝陽市喀喇沁左翼蒙古族自治縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種氮化硼坩堝的氣相沉積爐，包括爐體，爐體的內(nèi)壁上設(shè)置有保溫隔熱層；爐體內(nèi)設(shè)置有石墨筒體；石墨筒體的外壁上沿豎直方向等間距的設(shè)置有若干圈加熱電阻絲，由石墨筒體的中部分別至其頂部和底部的各圈加熱電阻絲的阻值呈對稱漸變設(shè)置；石墨筒體內(nèi)設(shè)置有坩堝模具；石墨筒體連通的設(shè)置有抽真空機構(gòu)；爐體的底部設(shè)置有至少一根進氣管，進氣管連通至石墨筒體的底部設(shè)置，進氣管上設(shè)置有第一控制閥。本實用新型的氣相沉積爐的爐內(nèi)溫度一致，確保了氮化硼坩堝的生產(chǎn)質(zhì)量。