一種加熱器支撐基體及加熱器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921502345.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN211047255U 公開（公告）日 2020-07-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN211047255U 申請(qǐng)公布日 2020-07-17
分類號(hào) H05B3/06 分類 -
發(fā)明人 何軍舫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 博宇（朝陽）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京博宇半導(dǎo)體工藝器皿技術(shù)有限公司;博宇（朝陽）半導(dǎo)體科技有限公司;博宇（天津）半導(dǎo)體材料有限公司
地址 101101 北京市通州區(qū)工業(yè)開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種加熱器支撐基體及加熱器，其中，所述加熱器支撐基體的表面形成有第一區(qū)域(1)和第二區(qū)域(2)；所述第一區(qū)域(1)的粗糙度大于所述第二區(qū)域(2)。所述加熱器有導(dǎo)電區(qū)域和絕緣區(qū)域；加熱器支撐基體的第一區(qū)域(1)覆蓋導(dǎo)電材料層形成導(dǎo)電區(qū)域，第二區(qū)域(2)沒有覆蓋導(dǎo)電材料層，是絕緣區(qū)域。通過對(duì)加熱器支撐基體的第一區(qū)域(1)和第二區(qū)域(2)進(jìn)行表面粗糙度的精細(xì)控制，在導(dǎo)電材料層沉積在加熱器支撐基體表面上后，導(dǎo)電區(qū)域上的導(dǎo)電材料緊密的附著在第一區(qū)域上，絕緣區(qū)域上的導(dǎo)電材料可以實(shí)現(xiàn)自然脫落或通過小刀等簡易工具去除，操做簡單，圖案美觀，且導(dǎo)電材料層邊緣齊整，不起層，使加熱器的成品率高，增加經(jīng)濟(jì)效益。