薄膜光伏電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210298896.7 申請日 -
公開（公告）號 CN102956552B 公開（公告）日 2016-03-16
申請公布號 CN102956552B 申請公布日 2016-03-16
分類號 H01L21/78(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01S5/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王偉明;胡雙元;孫飛;程雪梅 申請（專利權(quán)）人 國電科技環(huán)保集團有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 王偉明;國電科技環(huán)保集團股份有限公司;江蘇宜興德融科技有限公司
地址 214213 江蘇省無錫市宜興市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)文莊路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種半導(dǎo)體器件的制備方法，包括以下步驟：a)提供第一半導(dǎo)體襯底；b)在第一半導(dǎo)體襯底上形成犧牲層；c)在犧牲層上制備半導(dǎo)體器件的功能層；d)將半導(dǎo)體器件的功能層分離成具有預(yù)定陣列圖案的半導(dǎo)體器件的功能單元；e)采用腐蝕溶液腐蝕犧牲層，實現(xiàn)第一襯底與功能層的剝離。根據(jù)本發(fā)明，在腐蝕犧牲層之前，先將半導(dǎo)體器件的功能層分離成半導(dǎo)體器件的功能單元的陣列，使得在腐蝕過程中，腐蝕溶液腐蝕犧牲層的腐蝕路徑縮短，極大地提高了襯底的剝離速度和剝離均勻性，進而能夠提高半導(dǎo)體器件的剝離成品率和生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。