一種半導(dǎo)體測(cè)試機(jī)多個(gè)測(cè)試通道直流參數(shù)的校準(zhǔn)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110853883.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113311374B 公開（公告）日 2021-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN113311374B 申請(qǐng)公布日 2021-11-09
分類號(hào) G01R35/00（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 魏津;張經(jīng)祥;胡雪原 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 紳克半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海專益專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 方燕娜;王雯婷
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)大同路20號(hào)三區(qū)2號(hào)A5廠房1樓101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種半導(dǎo)體測(cè)試機(jī)多個(gè)測(cè)試通道直流參數(shù)的校準(zhǔn)方法。包括半導(dǎo)體測(cè)試機(jī)，半導(dǎo)體測(cè)試機(jī)的每個(gè)待校準(zhǔn)通道的輸入端分別連接一個(gè)線性運(yùn)算電路模塊，其特征在于具體包括如下步驟：S1，每個(gè)線性運(yùn)算電路模塊共同連接一個(gè)非線性運(yùn)算模塊；S2，獲取非線性變換公式；S3，得出每個(gè)待校準(zhǔn)通道的線性變換公式；S4，將線性變換公式的斜率值、截距值寫入線性運(yùn)算電路模塊；S5，對(duì)每個(gè)通道輸入一個(gè)相同的輸入值，運(yùn)算得出第一中間值；S6，運(yùn)算得出第二中間值；S7，運(yùn)行得到相同的輸出值。同現(xiàn)有技術(shù)相比，既滿足了多個(gè)測(cè)試通道同步性、時(shí)效性的要求，又解決了多個(gè)測(cè)試通道直流參數(shù)校準(zhǔn)的問題。