一種半導體測試機多個測試通道直流參數(shù)的校準方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110853883.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113311374B 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN113311374B 申請公布日 2021-11-09
分類號 G01R35/00（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 魏津;張經(jīng)祥;胡雪原 申請（專利權(quán)）人 紳克半導體科技（蘇州）有限公司
代理機構(gòu) 上海專益專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 方燕娜;王雯婷
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)大同路20號三區(qū)2號A5廠房1樓101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導體測試技術領域，具體地說是一種半導體測試機多個測試通道直流參數(shù)的校準方法。包括半導體測試機，半導體測試機的每個待校準通道的輸入端分別連接一個線性運算電路模塊，其特征在于具體包括如下步驟：S1，每個線性運算電路模塊共同連接一個非線性運算模塊；S2，獲取非線性變換公式；S3，得出每個待校準通道的線性變換公式；S4，將線性變換公式的斜率值、截距值寫入線性運算電路模塊；S5，對每個通道輸入一個相同的輸入值，運算得出第一中間值；S6，運算得出第二中間值；S7，運行得到相同的輸出值。同現(xiàn)有技術相比，既滿足了多個測試通道同步性、時效性的要求，又解決了多個測試通道直流參數(shù)校準的問題。