IC測(cè)試機(jī)臺(tái)的校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)系統(tǒng)及IC測(cè)試裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111008287.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113447798B 公開（公告）日 2021-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN113447798B 申請(qǐng)公布日 2021-11-19
分類號(hào) G01R31/28;G01R35/00 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 魏津;鄢書丹;徐潤(rùn)生 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 紳克半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李柏柏
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)大同路20號(hào)三區(qū)2號(hào)A5廠房1樓101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種IC測(cè)試機(jī)臺(tái)的校準(zhǔn)方法，IC測(cè)試機(jī)臺(tái)包括彈簧針?biāo)吞结樋ǎ?zhǔn)方法用以校準(zhǔn)彈簧針?biāo)c探針卡之間的水平度，包括：提供一檢測(cè)板；以檢測(cè)板代替探針卡位置；加載檢測(cè)信號(hào)獲取探針陣列中每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的接觸電阻值；將接觸電阻值繪制成陣列平面圖，陣列平面圖中對(duì)應(yīng)不同接觸電阻值大小的區(qū)域具有不同的圖形特征；根據(jù)圖形特征判斷彈簧針?biāo)c檢測(cè)板之間的水平度并實(shí)施校準(zhǔn)。本發(fā)明能夠利用原有IC測(cè)試機(jī)臺(tái)的結(jié)構(gòu)，在僅用一檢測(cè)板代替探針卡的情況下獲取探針陣列的每個(gè)探針的接觸電阻值，利用接觸電阻值的可視化處理直觀的判斷彈簧針?biāo)c檢測(cè)板之間的水平度，檢測(cè)校準(zhǔn)成本低，大大提高了檢測(cè)校準(zhǔn)的效率和精度，無需反復(fù)進(jìn)行校準(zhǔn)。