IC測試機(jī)臺的校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)系統(tǒng)及IC測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111008287.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113447798B 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN113447798B 申請公布日 2021-11-19
分類號 G01R31/28;G01R35/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 魏津;鄢書丹;徐潤生 申請（專利權(quán)）人 紳克半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李柏柏
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)大同路20號三區(qū)2號A5廠房1樓101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種IC測試機(jī)臺的校準(zhǔn)方法，IC測試機(jī)臺包括彈簧針?biāo)吞结樋?，校?zhǔn)方法用以校準(zhǔn)彈簧針?biāo)c探針卡之間的水平度，包括：提供一檢測板；以檢測板代替探針卡位置；加載檢測信號獲取探針陣列中每個探針對應(yīng)的接觸電阻值；將接觸電阻值繪制成陣列平面圖，陣列平面圖中對應(yīng)不同接觸電阻值大小的區(qū)域具有不同的圖形特征；根據(jù)圖形特征判斷彈簧針?biāo)c檢測板之間的水平度并實(shí)施校準(zhǔn)。本發(fā)明能夠利用原有IC測試機(jī)臺的結(jié)構(gòu)，在僅用一檢測板代替探針卡的情況下獲取探針陣列的每個探針的接觸電阻值，利用接觸電阻值的可視化處理直觀的判斷彈簧針?biāo)c檢測板之間的水平度，檢測校準(zhǔn)成本低，大大提高了檢測校準(zhǔn)的效率和精度，無需反復(fù)進(jìn)行校準(zhǔn)。