測(cè)試探針、測(cè)試探針模塊及測(cè)試裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111031094.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113466504B 公開（公告）日 2021-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN113466504B 申請(qǐng)公布日 2021-11-19
分類號(hào) G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 魏津;胡雪原;徐潤(rùn)生 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 紳克半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李柏柏
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)大同路20號(hào)三區(qū)2號(hào)A5廠房1樓101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種測(cè)試探針，包括頭部，其包括至少兩個(gè)能夠張開或閉合的針瓣；尾部形成該測(cè)試探針的主體；以及過(guò)渡部，其包括兩端，其中一端連接頭部，另一端連接尾部，且連接頭部一端的橫向尺寸大于連接尾部一端的橫向尺寸，以使過(guò)渡部的外壁具有從頭部向尾部收縮的斜面；當(dāng)擠壓件沿斜面從尾部向頭部移動(dòng)時(shí)，過(guò)渡部受到擠壓力帶動(dòng)該至少兩個(gè)針瓣閉合，以使閉合的頭部能夠進(jìn)入載具板上的金屬化通孔內(nèi)，并在撤掉擠壓力時(shí)，至少兩個(gè)針瓣自然擴(kuò)張從而抵觸于載具板上的金屬化通孔的內(nèi)壁上。本發(fā)明能夠避免因探針數(shù)量增多而導(dǎo)致載具板或測(cè)試探針模塊的接觸面容易變形翹曲出現(xiàn)接觸不良的問(wèn)題，省去了安裝機(jī)構(gòu)力學(xué)剛性度的預(yù)算。