一種半導(dǎo)體制備用拋光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011015240.0 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN112123171B 公開（公告）日 2021-12-17
申請公布號(hào) CN112123171B 申請公布日 2021-12-17
分類號(hào) B24B29/02（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B27/02（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;B24B49/00（2012.01）I;B24B47/22（2006.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B01D46/10（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 陳玉瓊 申請（專利權(quán)）人 蘇州鼎芯光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 東莞市神州眾達(dá)專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉漢民
地址 212511 江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)318國道74K處蘆墟段北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種半導(dǎo)體制備用拋光裝置，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上表面的四角均固定連接有第一立柱，所述第一立柱上表面固定連接有頂板，所述頂板上表面中部開設(shè)有滑動(dòng)槽，所述滑動(dòng)槽內(nèi)壁滑動(dòng)連接有滑動(dòng)臺(tái)，所述滑動(dòng)臺(tái)右側(cè)面的前后兩側(cè)均插接有滑動(dòng)桿。該半導(dǎo)體制備用拋光裝置，通過第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、轉(zhuǎn)動(dòng)盤、曲柄、連接板和滑動(dòng)臺(tái)配合使用，使得第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)盤通過曲柄帶動(dòng)滑動(dòng)臺(tái)左右運(yùn)動(dòng)，從而進(jìn)一步增大了該裝置對(duì)于半導(dǎo)體制品的拋光面積，使得該裝置可以對(duì)較長的半導(dǎo)體制品進(jìn)行拋光，進(jìn)一步提高了該裝置的工作效率。