一種生長藍寶石單晶的方法和生長設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110131243.5 申請日 -
公開（公告）號 CN102154699B 公開（公告）日 2013-05-22
申請公布號 CN102154699B 申請公布日 2013-05-22
分類號 C30B29/20(2006.01)I;C30B13/20(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 吳晟 申請（專利權）人 北京晟世星科技有限公司
代理機構 北京中創(chuàng)陽光知識產權代理有限責任公司 代理人 尹振啟
地址 100080 北京市海淀區(qū)中關村西區(qū)中關村公館C-1002
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種生長藍寶石單晶的方法和生長設備，通過使用中頻電源感應加熱技術來獲得生長晶體需要的高溫及合適的結晶溫度場；在結晶進程中，保持構成溫場的耐火材料及坩堝不動，通過移動感應圈的方法，使由加熱管及保溫系統(tǒng)形成的溫度場隨移動而變化；從而使坩堝中的結晶界面逐步以適當速率移動、坩堝內的熔體逐步以適當速率結晶，直到坩堝中的熔體全部生產為一個單晶。本發(fā)明中的鉬坩堝、坩堝托、保溫系統(tǒng)等處在高溫區(qū)的元件都不移動，始終處在穩(wěn)定的靜止狀態(tài)。從而避免了坩堝移動過程中因高溫元件變形而導致的大量意外事故，有利於提高晶體生長的成品率。