一種生長(zhǎng)藍(lán)寶石單晶的方法和生長(zhǎng)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110131243.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN102154699A 公開(kāi)(公告)日 2011-08-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN102154699A 申請(qǐng)公布日 2011-08-17
分類號(hào) C30B29/20(2006.01)I;C30B13/20(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 吳晟 申請(qǐng)(專利權(quán))人 北京晟世星科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中創(chuàng)陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 尹振啟
地址 100080 北京市海淀區(qū)中關(guān)村西區(qū)中關(guān)村公館C-1002
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種生長(zhǎng)藍(lán)寶石單晶的方法和生長(zhǎng)設(shè)備,通過(guò)使用中頻電源感應(yīng)加熱技術(shù)來(lái)獲得生長(zhǎng)晶體需要的高溫及合適的結(jié)晶溫度場(chǎng);在結(jié)晶進(jìn)程中,保持構(gòu)成溫場(chǎng)的耐火材料及坩堝不動(dòng),通過(guò)移動(dòng)感應(yīng)圈的方法,使由加熱管及保溫系統(tǒng)形成的溫度場(chǎng)隨移動(dòng)而變化;從而使坩堝中的結(jié)晶界面逐步以適當(dāng)速率移動(dòng)、坩堝內(nèi)的熔體逐步以適當(dāng)速率結(jié)晶,直到坩堝中的熔體全部生產(chǎn)為一個(gè)單晶。本發(fā)明中的鉬坩堝、坩堝托、保溫系統(tǒng)等處在高溫區(qū)的元件都不移動(dòng),始終處在穩(wěn)定的靜止?fàn)顟B(tài)。從而避免了坩堝移動(dòng)過(guò)程中因高溫元件變形而導(dǎo)致的大量意外事故,有利于提高晶體生長(zhǎng)的成品率。