一種用于控制真空生長室內(nèi)氣體壓力的壓力自動控制裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920222341.8 申請日 -
公開（公告）號 CN201545935U 公開（公告）日 2010-08-11
申請公布號 CN201545935U 申請公布日 2010-08-11
分類號 C30B23/00(2006.01)I;F16K31/02(2006.01)I;F16K51/02(2006.01)I;G05D16/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 吳晟 申請（專利權(quán)）人 北京晟世星科技有限公司
代理機構(gòu) 北京中創(chuàng)陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 代理人 吳晟;北京晟世星科技有限公司
地址 100080 北京市海淀區(qū)中關(guān)村南三街2號樓701室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種用于控制單晶生長設備的真空生長室內(nèi)氣體壓力的壓力自動控制裝置，包括與真空生長室連通的抽氣泵、氣閥流量計、以及與氣閥流量計相連的氣源、其特征在于，在真空生長室與真空抽氣泵之間，或真空生長室與氣體流量計之間設置有電磁閥，該裝置進一步包括壓力傳感器、程序給定器、PID控制器和多諧振蕩器，壓力傳感器測量生長室的氣壓，并將測得的壓力轉(zhuǎn)換成電信號，該信號與程序給定器給出的壓力數(shù)值進行比較，其差值被送入PID控制器，PID控制器將輸出到壓控多諧振蕩器，該壓控多諧振蕩器的輸出信號控制所述電磁閥的氣閥的通、斷，進而控制真空生長室的進氣和出氣，使真空生長室內(nèi)的壓力保持在晶體生長工藝要求的穩(wěn)定狀態(tài)。