一種用于控制真空生長室內(nèi)氣體壓力的壓力自動控制裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN200920222341.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN201545935U | 公開(公告)日 | 2010-08-11 |
申請公布號 | CN201545935U | 申請公布日 | 2010-08-11 |
分類號 | C30B23/00(2006.01)I;F16K31/02(2006.01)I;F16K51/02(2006.01)I;G05D16/00(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 吳晟 | 申請(專利權(quán))人 | 北京晟世星科技有限公司 |
代理機構(gòu) | 北京中創(chuàng)陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 | 代理人 | 吳晟;北京晟世星科技有限公司 |
地址 | 100080 北京市海淀區(qū)中關(guān)村南三街2號樓701室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本申請公開了一種用于控制單晶生長設備的真空生長室內(nèi)氣體壓力的壓力自動控制裝置,包括與真空生長室連通的抽氣泵、氣閥流量計、以及與氣閥流量計相連的氣源、其特征在于,在真空生長室與真空抽氣泵之間,或真空生長室與氣體流量計之間設置有電磁閥,該裝置進一步包括壓力傳感器、程序給定器、PID控制器和多諧振蕩器,壓力傳感器測量生長室的氣壓,并將測得的壓力轉(zhuǎn)換成電信號,該信號與程序給定器給出的壓力數(shù)值進行比較,其差值被送入PID控制器,PID控制器將輸出到壓控多諧振蕩器,該壓控多諧振蕩器的輸出信號控制所述電磁閥的氣閥的通、斷,進而控制真空生長室的進氣和出氣,使真空生長室內(nèi)的壓力保持在晶體生長工藝要求的穩(wěn)定狀態(tài)。 |
