碎屑清潔裝置及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110620441.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113351535A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113351535A 申請公布日 2021-09-07
分類號 B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 方寧;胡正華;錢安治;瞿文元;王廈;程金橋 申請（專利權(quán)）人 環(huán)旭電子股份有限公司
代理機構(gòu) 上海碩力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張光明
地址 201210上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)區(qū)張東路1558號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了碎屑清潔裝置及系統(tǒng)，所述碎屑清潔裝置包括：刮掃機構(gòu)，包括刷毛和刮掃基座，所述刷毛安裝于所述刮掃基座，所述刮掃基座適于安裝于移動機構(gòu)，所述移動機構(gòu)適于帶動所述刮掃基座移動；固定機構(gòu)，所述固定機構(gòu)具有安裝位，所述產(chǎn)品適于安裝于所述安裝位；其中，所述移動機構(gòu)適于帶動所述刮掃機構(gòu)的所述刷毛沿著所述產(chǎn)品的表面移動，以刮掃所述產(chǎn)品表面的碎屑。所述碎屑清潔裝置能夠有效地清掃產(chǎn)品表面的碎屑，有效地避免碎屑對產(chǎn)品的性能造成影響。其結(jié)構(gòu)簡單，清掃方便，成本低廉。