電池片背面拋光用水膜厚度控制裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510559472.5 申請日 -
公開（公告）號 CN105118802B 公開（公告）日 2018-04-10
申請公布號 CN105118802B 申請公布日 2018-04-10
分類號 H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程建新;雷杰 申請（專利權(quán)）人 昊誠光電（太倉）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 昊誠光電（太倉）有限公司
地址 215400 江蘇省蘇州市太倉市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)常勝北路168號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電池片背面拋光用水膜厚度控制裝置，其提高了電池片蝕刻中的水膜均勻性。一種電池片背面拋光用水膜厚度控制裝置，設(shè)置在水膜噴淋裝置和刻蝕槽之間，所述水膜厚度控制裝置包括沿電池片的輸送方向依次排布的減薄機(jī)構(gòu)、勻厚機(jī)構(gòu)，所述減薄機(jī)構(gòu)和勻厚機(jī)構(gòu)形成太陽能電池片的輸送通道，所述勻厚機(jī)構(gòu)包括至少一個的第一勻厚滾輪，所述第一勻厚滾輪的圓周面上設(shè)置有螺紋以在接觸電池片表面時帶走電池片上張力過大的水膜。