一種氮氧化硅PERC背鈍化方法及鈍化爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911415067.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110854243A 公開（公告）日 2020-02-28
申請公布號 CN110854243A 申請公布日 2020-02-28
分類號 H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 雷杰 申請（專利權）人 昊誠光電（太倉）有限公司
代理機構 北京連和連知識產權代理有限公司 代理人 昊誠光電（太倉）有限公司
地址 215400 江蘇省蘇州市太倉市常勝北路168號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氮氧化硅PERC背鈍化方法及鈍化爐，通過階梯設置的溫度進行鈍化，并且在其中加入N2O，能夠提高背鈍化的效果；另外，增加換熱機構，使得爐門打開時，將端部氣體傳遞至爐管尾端，盡可能減少熱量的喪失，進而節(jié)約能源。加熱層采用獨立控制的電熱絲作為加熱源，降低了設備成本，并且對爐內溫度實現(xiàn)分區(qū)控制，使溫度控制更加精確。