一種多晶硅涂膠后的自動(dòng)壓緊裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911406888.8 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN110993745B 公開(公告)日 2021-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN110993745B 申請(qǐng)公布日 2021-07-06
分類號(hào) H01L31/18;F16B11/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄭軍;周清;俞峰 申請(qǐng)(專利權(quán))人 上海賽摩電氣有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京中高專利代理有限公司 代理人 潘甦昊
地址 200000 上海市寶山區(qū)蘊(yùn)川路4515號(hào)未來已來科技園3號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多晶硅涂膠后的自動(dòng)壓緊裝置,目的是解決多晶硅涂膠后壓緊工序中自動(dòng)化程度低,無法準(zhǔn)確控制膠層厚度的問題,該裝置的安裝架包括上料機(jī)構(gòu)、壓緊機(jī)構(gòu)以及隨行工裝,隨行工裝上設(shè)置有涂膠后的多晶硅,隨行工裝包括工裝座板和側(cè)壓部,隨行工裝的工裝座板安裝在上料機(jī)構(gòu)的上方,側(cè)壓部固定安裝在工裝座板上,側(cè)壓部的活動(dòng)端與多晶硅的側(cè)面彈性抵觸;第一聯(lián)動(dòng)板的第一部與伸縮部固定連接,第一安裝板上凸出設(shè)有第一導(dǎo)軌,第一聯(lián)動(dòng)板滑動(dòng)設(shè)置在第一導(dǎo)軌上,伸縮部的伸縮桿將側(cè)壓部的活動(dòng)端從多晶硅側(cè)面拉開后,壓緊機(jī)構(gòu)對(duì)多晶硅進(jìn)行施壓,壓緊機(jī)構(gòu)的壓合力可調(diào)。本發(fā)明具有自動(dòng)化程度高,降低產(chǎn)品不良率,保證安全生產(chǎn)的作用。