一種汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)表面耐磨涂層的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610239273.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105671552B 公開（公告）日 2018-04-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN105671552B 申請(qǐng)公布日 2018-04-10
分類號(hào) C23C28/04;C23C14/34;C23C14/06;C23C16/44;C23C16/27 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張東民;張而耕;姚松駿;惲龐杰;劉銘心;盛育東;馮全華;曹啟偉;陳厚良 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海應(yīng)術(shù)電站配件有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院;上海應(yīng)術(shù)電站配件有限公司;上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué);上海應(yīng)沐電機(jī)科技有限公司
地址 200235 上海市徐匯區(qū)漕寶路120號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)表面耐磨涂層的制備方法，包括：步驟1，提供一無涂層的汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)和一真空爐，真空爐中設(shè)置有Ti靶材；步驟2，將無涂層的汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)置于真空爐內(nèi)，對(duì)無涂層的汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)的表面進(jìn)行加靶活化；步驟3，對(duì)表面已完成活化的汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)進(jìn)行TiN涂層沉積：調(diào)節(jié)真空爐爐腔溫度為180～200℃，向真空爐腔中通入N2氣，N2氣體流量為150～180sccm，對(duì)Ti靶材通電作為蒸發(fā)源，通電電流為120～140A，在汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)上加偏壓為150～180V，持續(xù)15～20min后完成TiN涂層沉積并進(jìn)入下一步；步驟4，在TiN涂層表面進(jìn)行DLC涂層沉積。