一種硅片玻璃鈍化前的清洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010472723.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112242294A 公開（公告）日 2021-01-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN112242294A 申請(qǐng)公布日 2021-01-19
分類號(hào) H01L21/02;H01L21/67;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/10 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 耿開遠(yuǎn) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 濟(jì)寧東方芯電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島發(fā)思特專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 盧登濤
地址 272100 山東省濟(jì)寧市兗州區(qū)兗顏路路北天齊廟村村西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體元件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅片玻璃鈍化前的清洗方法，包括如下步驟：（1）硅片首先采用sc?1清洗液、sc?2清洗液依次進(jìn)行清洗；（2）將步驟（1）清洗后的硅片置于盛有磷酸的石英方缸中，在溫度為80±5℃條件下加熱5?20分鐘，加熱過(guò)程中硅片上下或者左右晃動(dòng)，清洗完成后取出用去離子水沖洗20?30分鐘，沖洗后硅片置于甩干機(jī)甩干。本發(fā)明在SC?1、SC?2清洗后后增加磷酸清洗，利用微觀的磷殘留，在玻璃粉高溫?zé)Y(jié)過(guò)程中，磷的吸雜特性和固定電荷作用，可有效彌補(bǔ)前期缺陷或者異常電荷，保護(hù)產(chǎn)品電特性，同時(shí)提高產(chǎn)品漏電水平，優(yōu)化了產(chǎn)品性能，在同款可控硅產(chǎn)品驗(yàn)證中，平均漏電流由0.67uA下降至0.59uA，漏電流減小，提高產(chǎn)品漏電水平，優(yōu)化了產(chǎn)品性能。