一種UV膜模板及利用UV膜模板實現(xiàn)潔凈玻璃鈍化的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010473422.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111816574A 公開（公告）日 2020-10-23
申請公布號 CN111816574A 申請公布日 2020-10-23
分類號 H01L21/56(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 耿開遠 申請（專利權）人 濟寧東方芯電子科技有限公司
代理機構 青島發(fā)思特專利商標代理有限公司 代理人 濟寧東方芯電子科技有限公司
地址 272100山東省濟寧市兗州區(qū)兗顏路路北天齊廟村村西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導體技術領域，具體涉及一種UV膜模板及利用UV膜模板實現(xiàn)潔凈玻璃鈍化的方法，UV膜模板，包括UV膜，UV膜上設有若干段鏤空區(qū)，相鄰鏤空區(qū)端部之間形成UV膜連接區(qū)。本發(fā)明利用了UV膜自身有粘性粘貼到硅片表面，刮涂時采用鏤空區(qū)對玻璃進行選擇性填入芯片槽，芯片槽填充后除去UV膜模板，可徹底清除殘留的玻璃粉，解決了現(xiàn)有技術中刮涂玻璃鈍化時硅片表面清潔不凈的技術問題；本發(fā)明獲得了良好的玻璃鈍化效果，可以非常好的保護PN結界面；本發(fā)明玻璃有效地保護到了上沿，避免了光刻膠涂布不好的問題。??