一種化學(xué)氣相沉積固態(tài)先驅(qū)體供給設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200410062706.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN100339504C 公開（公告）日 2007-09-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN100339504C 申請(qǐng)公布日 2007-09-26
分類號(hào) C23C16/448(2006.01) 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 邱海鵬;韓立軍;王冬;商凱東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 錦州市三特真空冶金技術(shù)工業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中國(guó)航空專利中心 代理人 中國(guó)航空工業(yè)第一集團(tuán)公司北京航空制造工程研究所;錦州市三特真空冶金技術(shù)工業(yè)有限公司
地址 100024北京市朝陽區(qū)八里橋
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于復(fù)合材料制造技術(shù)，涉及一種化學(xué)氣相沉積裝置的改進(jìn)。它包括惰性氣體管路1、進(jìn)氣管12、可編程控制器6，其特征在于，有一個(gè)封閉的加熱裝置8，混合罐10安裝在加熱裝置8的內(nèi)腔中；有一個(gè)由載氣管路5、氣體質(zhì)量流量控制器3、固態(tài)蒸發(fā)器9、數(shù)字顯示壓力表4和連接管14組成的氣路，固態(tài)先驅(qū)體放置在固態(tài)蒸發(fā)器9內(nèi)。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了化學(xué)氣相沉積過程的全自動(dòng)控制；提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。