一種化學(xué)氣相共沉積與滲透尾氣處理裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200420073083.9 申請日 -
公開（公告）號 CN2716284Y 公開（公告）日 2005-08-10
申請公布號 CN2716284Y 申請公布日 2005-08-10
分類號 C23C16/44;B01D53/78 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 邱海鵬;韓立軍;王冬;商凱東 申請（專利權(quán)）人 錦州市三特真空冶金技術(shù)工業(yè)有限公司
代理機構(gòu) 中國航空專利中心 代理人 中國航空工業(yè)第一集團公司北京航空制造工程研究所;錦州市三特真空冶金技術(shù)工業(yè)有限公司
地址 100024北京市朝陽區(qū)八里橋
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于復(fù)合材料制造設(shè)備領(lǐng)域，涉及對化學(xué)氣相共沉積與滲透設(shè)備使用的尾氣處理裝置的改進。本實用新型的特征在于，通過管路依次將水冷過濾器、冷凍過濾器、復(fù)合過濾器、真空泵、堿液過濾器和放空燃燒結(jié)構(gòu)串聯(lián)為四級尾氣處理裝置，本實用新型結(jié)構(gòu)簡單；操作方便；尾氣處理能力強；可同時或單獨對化學(xué)氣相沉積與滲透工藝的尾氣煤焦油和氯化氫進行處理。