一種硅片用自動清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821791277.0 申請日 -
公開（公告）號 CN209205921U 公開（公告）日 2019-08-06
申請公布號 CN209205921U 申請公布日 2019-08-06
分類號 B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00 分類 清潔;
發(fā)明人 拜鵬;周雷雷;馮瑞;蘭晶 申請（專利權(quán)）人 西安烽火光伏科技股份有限公司
代理機構(gòu) 西安弘理專利事務(wù)所 代理人 西安烽火光伏科技股份有限公司
地址 710077 陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路125號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片用自動清洗裝置，包括承載板以及安裝架，所述安裝架安置于承載板上壁面，且側(cè)壁面安裝有動態(tài)清洗結(jié)構(gòu)，所述承載板上壁面且位于動態(tài)清洗結(jié)構(gòu)下方安裝有超聲震動結(jié)構(gòu)，本實用新型涉及硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域，通過動態(tài)清洗結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了硅片的動態(tài)清洗過程，通過超聲震動結(jié)構(gòu)使得清洗的更加徹底，通過上述結(jié)構(gòu)的相互配合，實現(xiàn)了硅片自動動態(tài)清洗的功能。