一種基于籠狀聚倍半硅氧烷的負(fù)性光刻膠及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110587445.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113189844A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN113189844A 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類號(hào) G03F7/075 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 伍淼;羅鵬;王勇;孫華偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣州一新科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州云領(lǐng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張蓮珍
地址 510000 廣東省廣州市開(kāi)源大道11號(hào)B3棟第九層（部位:904室）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于籠狀聚倍半硅氧烷的負(fù)性光刻膠，所述負(fù)性光刻膠包括帶八個(gè)反應(yīng)雙鍵的籠狀聚倍半硅氧烷、輔助樹(shù)脂、引發(fā)劑和溶劑。本發(fā)明的負(fù)性光刻膠以帶有八個(gè)反應(yīng)雙鍵的籠狀聚倍半硅氧烷為主體材料，其具有8個(gè)反應(yīng)活性基團(tuán)使得材料具有反應(yīng)速率快、交聯(lián)密度高的特性。同時(shí)，結(jié)合無(wú)機(jī)籠狀內(nèi)核的引入使得具有極好的感度、解析度、熱穩(wěn)定性和機(jī)械強(qiáng)度，另外有機(jī)無(wú)機(jī)雜化的結(jié)構(gòu)可有效提高與基材的附著力，提高圖形的保持度。