一種擴散氧化用石英爐管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120818216.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214666015U 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN214666015U 申請公布日 2021-11-09
分類號 F27B17/00（2006.01）I;H01L21/31（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 王仁書;薛新兵 申請（專利權(quán)）人 揚州晶新微電子有限公司
代理機構(gòu) 南京源點知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 潘云峰
地址 225000江蘇省揚州市鴻大路29號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了半導(dǎo)體器件芯片制造技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的一種擴散氧化用石英爐管，包括：石英管體，石英管體上開設(shè)有通氧口；載片石英舟，載片石英舟設(shè)置于石英管體內(nèi)，載片石英舟用以承載硅片；輸氣管道，輸氣管道插入石英管內(nèi)且朝向載片石英舟方向延伸，輸氣管道出氣方向朝與進氣方向相反的方向設(shè)置，且輸氣管道出氣方向與進氣方向之間形成小于90°的夾角。該擴散氧化用石英爐管改變了輸氣管道噴氣方向，使得氫氧焰遠離載片石英舟，有效地減少了氫氧火焰對恒溫區(qū)的干擾。