一種半導(dǎo)體器件清洗控制系統(tǒng)及控制方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911209917.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110729222A | 公開（公告）日 | 2020-01-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110729222A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-01-24 |
| 分類號(hào) | H01L21/67;H01L21/02 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 夏昊;包晶 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 揚(yáng)州晶新微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 黃啟兵 |
| 地址 | 225000 江蘇省揚(yáng)州市鴻大路29號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體器件清洗控制系統(tǒng)及控制方法。系統(tǒng)包括總開關(guān)、加熱電路、開關(guān)電源，開關(guān)電源依次連接有開關(guān)組和排氣閥組，排氣閥組進(jìn)氣端連接有壓空閥組件，排氣閥組出氣端連接有執(zhí)行閥組，排氣閥組控制執(zhí)行閥組的開閉。用于解決傳統(tǒng)清洗機(jī)控制系統(tǒng)維修保養(yǎng)成本高的問題；本發(fā)明使用的配件方便購(gòu)買容易獲取，成本更低；在后期使用過程中存在器件老化損壞等情況出現(xiàn)時(shí)，維護(hù)費(fèi)用較少，更換較方便。 |
