一種增粘劑的涂布裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121253265.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214670078U 公開（公告）日 2021-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN214670078U 申請(qǐng)公布日 2021-11-09
分類號(hào) G03F7/16（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 龔雪玲;陳宇;高孝琴 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 揚(yáng)州晶新微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京源點(diǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃啟兵
地址 225000江蘇省揚(yáng)州市鴻大路29號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種增粘劑的涂布裝置包括：容器、片架、器皿，容器開設(shè)有內(nèi)腔，容器上分別設(shè)置有進(jìn)氣管與出氣管，片架設(shè)置于內(nèi)腔中，片架用于放置硅片，器皿設(shè)置于內(nèi)腔中，器皿用于盛放增粘劑。通過(guò)排氣管對(duì)內(nèi)腔中排氣，使得內(nèi)腔呈負(fù)壓狀態(tài)，增粘劑在負(fù)壓環(huán)境中揮發(fā)后，被微量吸附在硅片表面，從而起到降低增粘劑用量并實(shí)現(xiàn)在硅片表面涂覆增粘劑的目的。