一種半導(dǎo)體器件清洗控制系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201922113773.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210575870U 公開(kāi)（公告）日 2020-05-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN210575870U 申請(qǐng)公布日 2020-05-19
分類號(hào) H01L21/67;H01L21/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 夏昊;包晶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 揚(yáng)州晶新微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃啟兵
地址 225000 江蘇省揚(yáng)州市鴻大路29號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體器件清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體器件清洗控制系統(tǒng)。系統(tǒng)包括總開(kāi)關(guān)、加熱電路、開(kāi)關(guān)電源，開(kāi)關(guān)電源依次連接有開(kāi)關(guān)組和排氣閥組，排氣閥組進(jìn)氣端連接有壓空閥組件，排氣閥組出氣端連接有執(zhí)行閥組，排氣閥組控制執(zhí)行閥組的開(kāi)閉。用于解決傳統(tǒng)清洗機(jī)控制系統(tǒng)維修保養(yǎng)成本高的問(wèn)題；本實(shí)用新型使用的配件方便購(gòu)買(mǎi)容易獲取，成本更低；在后期使用過(guò)程中存在器件老化損壞等情況出現(xiàn)時(shí)，維護(hù)費(fèi)用較少，更換較方便。