一種半導(dǎo)體制造用干泵控制系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021438421.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212774698U | 公開（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212774698U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-23 |
| 分類號(hào) | F04B49/06(2006.01)I;F04B51/00(2006.01)I | 分類 | 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵; |
| 發(fā)明人 | 夏昊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 揚(yáng)州晶新微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 黃啟兵 |
| 地址 | 225000江蘇省揚(yáng)州市鴻大路29號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體設(shè)備控制技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體制造用干泵控制系統(tǒng)。包括主回路、控制回路及與主回路連接的開關(guān)電源SMPS；主回路包括依次連接的交流接觸器KZ、熱繼電器KZR以及并聯(lián)的第一支路和第二支路，控制回路包括第一控制支路和第二控制支路，控制回路還包括與主回路連接的電源控制支路。用于解決控制模塊損壞后無法得到有效補(bǔ)充更換的問題。利用電源控制支路控制主回路電源的通斷，利用第一控制支路和第二控制支路分別控制主回路中的第一支路和第二支路的通斷，實(shí)現(xiàn)干泵的正?？刂七\(yùn)行，結(jié)構(gòu)連接簡單，整體可靠，損壞后易檢修，零件易更換方便維修，避免了整體式控制模塊損壞后無法及時(shí)修復(fù)和更換補(bǔ)充。?? |
