一種帶補償電極的面內平動式加速度計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910565814.2 申請日 -
公開(公告)號 CN110308308A 公開(公告)日 2021-07-13
申請公布號 CN110308308A 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01P15/125 分類 測量;測試;
發(fā)明人 鄒波;劉爽;鄭青龍 申請(專利權)人 深迪半導體(紹興)有限公司
代理機構 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 代理人 楊飛
地址 201203 上海市浦東新區(qū)自由貿易試驗區(qū)龍東大道3000號1號樓裙樓208室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電容式加速度計,其包括基底、質量塊和固定錨點,所述固定錨點固定在所述基底和所述質量塊之間,使兩者間形成間隔;所述質量塊包括第一質量塊、第二質量塊和第三質量塊;所述第三質量塊與所述固定錨點連接;所述第二質量塊與所述第三質量塊通過第一彈性件連接,從而使所述第二質量塊能夠面內轉動;所述第一質量塊與所述第二質量塊通過第二彈性件連接,所述第二彈性件適于當所述第二質量塊發(fā)生所述面內轉動時,帶動所述第一質量塊做相對于所述基底的平動。