一種帶補(bǔ)償電極的面內(nèi)平動(dòng)式加速度計(jì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910565814.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110308308B 公開(kāi)（公告）日 2021-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN110308308B 申請(qǐng)公布日 2021-07-13
分類號(hào) G01P15/125 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 鄒波;劉爽;鄭青龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深迪半導(dǎo)體（紹興）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海劍秋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊飛
地址 312030 浙江省紹興市柯橋區(qū)柯橋經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)柯北大道487號(hào)智能創(chuàng)新中心5號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電容式加速度計(jì)，其包括基底、質(zhì)量塊和固定錨點(diǎn)，所述固定錨點(diǎn)固定在所述基底和所述質(zhì)量塊之間，使兩者間形成間隔；所述質(zhì)量塊包括第一質(zhì)量塊、第二質(zhì)量塊和第三質(zhì)量塊；所述第三質(zhì)量塊與所述固定錨點(diǎn)連接；所述第二質(zhì)量塊與所述第三質(zhì)量塊通過(guò)第一彈性件連接，從而使所述第二質(zhì)量塊能夠面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第一質(zhì)量塊與所述第二質(zhì)量塊通過(guò)第二彈性件連接，所述第二彈性件適于當(dāng)所述第二質(zhì)量塊發(fā)生所述面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)所述第一質(zhì)量塊做相對(duì)于所述基底的平動(dòng)。