一種共享質(zhì)量塊的三軸電容式加速度計(jì)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811635414.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN109444467A | 公開（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109444467A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-06 |
| 分類號(hào) | G01P15/125;G01P15/18 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 鄒波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深迪半導(dǎo)體（紹興）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海智晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陸黎明 |
| 地址 | 201203 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)龍東大道3000號(hào)1號(hào)樓裙樓208室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種共享質(zhì)量塊的三軸電容式加速度計(jì)，包括：質(zhì)量塊，質(zhì)量塊被設(shè)置為：能夠在三個(gè)軸向平動(dòng)；基底，質(zhì)量塊相對(duì)基底進(jìn)行平動(dòng)；固定錨點(diǎn)，固定錨點(diǎn)將質(zhì)量塊連接至基底；檢測(cè)電容，其電容值隨著質(zhì)量塊的平動(dòng)而發(fā)生變化。實(shí)現(xiàn)三個(gè)軸向平動(dòng)的關(guān)鍵是通過兩段式的剛性梁連接。與傳統(tǒng)的加速度計(jì)敏感方式相比，本發(fā)明提供的加速度計(jì)大幅度提高了傳感器的敏感度。同時(shí)，結(jié)合合成電容的檢測(cè)方式，進(jìn)一步大幅度地降低芯片的面積，降低產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。 |
