一種共享質(zhì)量塊的三軸電容式加速度計(jì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811635414.6 申請日 -
公開（公告）號 CN109444467B 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN109444467B 申請公布日 2021-07-06
分類號 G01P15/125;G01P15/18 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鄒波;鄭青龍;劉爽 申請（專利權(quán)）人 深迪半導(dǎo)體（紹興）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海劍秋知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊飛
地址 312081 浙江省紹興市柯橋區(qū)柯橋經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)柯北大道487號智能創(chuàng)新中心5號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種共享質(zhì)量塊的三軸電容式加速度計(jì)，包括：質(zhì)量塊，質(zhì)量塊被設(shè)置為：能夠在三個軸向平動；基底，質(zhì)量塊相對基底進(jìn)行平動；固定錨點(diǎn)，固定錨點(diǎn)將質(zhì)量塊連接至基底；檢測電容，其電容值隨著質(zhì)量塊的平動而發(fā)生變化。實(shí)現(xiàn)三個軸向平動的關(guān)鍵是通過兩段式的剛性梁連接。與傳統(tǒng)的加速度計(jì)敏感方式相比，本發(fā)明提供的加速度計(jì)大幅度提高了傳感器的敏感度。同時，結(jié)合合成電容的檢測方式，進(jìn)一步大幅度地降低芯片的面積，降低產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。