一種三軸加速計(jì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610743219.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107782916A 公開（公告）日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN107782916A 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類號(hào) G01P15/18;G01P15/125 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 鄒波;鄭青龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深迪半導(dǎo)體（紹興）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 羅滿
地址 201203 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)龍東大道3000號(hào)1號(hào)樓A棟306室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種三軸加速計(jì)，包括設(shè)置凹槽的質(zhì)量塊，所述凹槽貫穿所述質(zhì)量塊的上下兩個(gè)端面，且所述凹槽沿X軸方向以及Y軸方向均對(duì)稱；所述質(zhì)量塊通過(guò)設(shè)置于所述凹槽的組合梁連接于固定錨點(diǎn)。上述三軸加速計(jì)，能夠大幅提高傳感器的敏感度，縮小敏感質(zhì)量，還能夠減小三軸加速計(jì)的面積。