一種三軸加速計(jì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610743205.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107782914B 公開（公告）日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN107782914B 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類號(hào) G01P15/125;G01P15/18 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 鄒波;鄭青龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深迪半導(dǎo)體（紹興）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海劍秋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊飛
地址 312030 浙江省紹興市柯橋區(qū)柯橋經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)柯北大道487號(hào)智能創(chuàng)新中心5號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種三軸加速計(jì)，包括具有沿Y軸方向設(shè)置的兩個(gè)凹槽的質(zhì)量塊，兩個(gè)所述凹槽貫穿所述質(zhì)量塊的上下兩個(gè)端面，且所述凹槽沿X軸方向以及Y軸方向均對(duì)稱；所述質(zhì)量塊通過分別設(shè)置于兩個(gè)所述凹槽的組合梁連接于固定錨點(diǎn)。上述三軸加速計(jì)，能夠大幅提高傳感器的敏感度，縮小敏感質(zhì)量，還能夠減小三軸加速計(jì)的面積。