一種三軸加速計(jì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610743219.X 申請日 -
公開（公告）號 CN107782916B 公開（公告）日 2021-07-09
申請公布號 CN107782916B 申請公布日 2021-07-09
分類號 G01P15/18;G01P15/125 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鄒波;鄭青龍 申請（專利權(quán)）人 深迪半導(dǎo)體（紹興）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海劍秋知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊飛
地址 312030 浙江省紹興市柯橋區(qū)柯橋經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)柯北大道487號智能創(chuàng)新中心5號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種三軸加速計(jì)，包括設(shè)置凹槽的質(zhì)量塊，所述凹槽貫穿所述質(zhì)量塊的上下兩個端面，且所述凹槽沿X軸方向以及Y軸方向均對稱；所述質(zhì)量塊通過設(shè)置于所述凹槽的組合梁連接于固定錨點(diǎn)。上述三軸加速計(jì)，能夠大幅提高傳感器的敏感度，縮小敏感質(zhì)量，還能夠減小三軸加速計(jì)的面積。