一種陽極封孔堵頭及其密封方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911023160.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111300031A 公開（公告）日 2020-06-19
申請公布號 CN111300031A 申請公布日 2020-06-19
分類號 B23P21/00(2006.01)I;F16J15/02(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 程石濤;牛建新;戴峰澤;葉云霞;任旭東 申請（專利權(quán)）人 托倫斯半導(dǎo)體設(shè)備啟東有限公司
代理機構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 托倫斯半導(dǎo)體設(shè)備啟東有限公司;江蘇大學(xué)
地址 226200江蘇省南通市啟東經(jīng)濟開發(fā)區(qū)南苑西路1455號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種陽極封孔堵頭其密封方法，具體為一種真空插板開關(guān)閥的密封結(jié)構(gòu)，包括升降軸、氣缸、閥門、密封墊和閥體；升降軸上安裝有四個氣缸；氣缸的活動端安裝有閥門；閥門的右端加工有燕尾止口；閥門的右端安裝有密封圈，密封圈的密封面為平面型密封面；閥體的左端設(shè)有微織構(gòu)密封面；密封狀態(tài)時，密封圈的平面型密封面與閥體的微織構(gòu)密封面相接觸；四個氣缸均勻分布于閥門的四個角點，且正對于密封圈。本發(fā)明大幅度提高了真空插板開關(guān)閥的密封效果和可靠性，可應(yīng)用于半導(dǎo)體刻蝕反應(yīng)腔的密封。??