一種半導(dǎo)體領(lǐng)域腔室部件表面涂層裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121085062.9 申請日 -
公開（公告）號 CN215141246U 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN215141246U 申請公布日 2021-12-14
分類號 B05B13/02（2006.01）I;B05B15/25（2018.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 莫任福 申請（專利權(quán)）人 托倫斯半導(dǎo)體設(shè)備啟東有限公司
代理機構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李嘉寧
地址 226200江蘇省南通市啟東經(jīng)濟開發(fā)區(qū)南苑西路1455號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導(dǎo)體領(lǐng)域腔室部件表面涂層裝置，包括底部安裝板，所述底部安裝板上設(shè)置有上部支撐柱，所述上部支撐柱上設(shè)置有控制箱，所述控制箱上設(shè)置有若干個顯示表盤，所述控制箱上在位于顯示表盤的側(cè)面位置設(shè)置有調(diào)節(jié)旋鈕，所述控制箱的側(cè)面位置設(shè)置有槍頭，所述底部安裝板的側(cè)面位置設(shè)置有原料桶，所述原料桶上端位置設(shè)置有桶蓋，所述桶蓋的中部位置設(shè)置有一號軸承，所述一號軸承內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)動桿。本實用新型所述的一種半導(dǎo)體領(lǐng)域腔室部件表面涂層裝置，屬于噴涂裝置領(lǐng)域，通過設(shè)置的轉(zhuǎn)動桿等結(jié)構(gòu)對原料進(jìn)行攪拌，使得沉淀的原料成分再次混合均勻，且通過弧形固定板等結(jié)構(gòu)固定住連接管，避免損傷連接管，使其使用更為方便。