一種半導(dǎo)體領(lǐng)域腔室部件表面涂層裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121085062.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215141246U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215141246U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-14 |
| 分類(lèi)號(hào) | B05B13/02（2006.01）I;B05B15/25（2018.01）I | 分類(lèi) | 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 莫任福 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 托倫斯半導(dǎo)體設(shè)備啟東有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州佰業(yè)騰飛專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 李嘉寧 |
| 地址 | 226200江蘇省南通市啟東經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)南苑西路1455號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體領(lǐng)域腔室部件表面涂層裝置，包括底部安裝板，所述底部安裝板上設(shè)置有上部支撐柱，所述上部支撐柱上設(shè)置有控制箱，所述控制箱上設(shè)置有若干個(gè)顯示表盤(pán)，所述控制箱上在位于顯示表盤(pán)的側(cè)面位置設(shè)置有調(diào)節(jié)旋鈕，所述控制箱的側(cè)面位置設(shè)置有槍頭，所述底部安裝板的側(cè)面位置設(shè)置有原料桶，所述原料桶上端位置設(shè)置有桶蓋，所述桶蓋的中部位置設(shè)置有一號(hào)軸承，所述一號(hào)軸承內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)桿。本實(shí)用新型所述的一種半導(dǎo)體領(lǐng)域腔室部件表面涂層裝置，屬于噴涂裝置領(lǐng)域，通過(guò)設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)桿等結(jié)構(gòu)對(duì)原料進(jìn)行攪拌，使得沉淀的原料成分再次混合均勻，且通過(guò)弧形固定板等結(jié)構(gòu)固定住連接管，避免損傷連接管，使其使用更為方便。 |
