一種晶圓的夾持裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121716141.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215266255U 公開(kāi)（公告）日 2021-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN215266255U 申請(qǐng)公布日 2021-12-21
分類(lèi)號(hào) H01L21/687（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡躍明;杜娟;劉海明;袁鵬;羅中良;郭愛(ài)軍;覃明鮮;趙英齊 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣東瑞谷光網(wǎng)通信有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韓靜粉
地址 523000廣東省東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)上沙社區(qū)?？德?號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及夾具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓的夾持裝置。夾持裝置包括驅(qū)動(dòng)組件、第一轉(zhuǎn)動(dòng)架、第二轉(zhuǎn)動(dòng)架和加工臺(tái)；所述加工臺(tái)的兩側(cè)均轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有活動(dòng)板，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)架和所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)架的一端均連接在所述驅(qū)動(dòng)組件的輸出端，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)架和所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)架的另一端與對(duì)應(yīng)側(cè)的所述活動(dòng)板連接；所述加工臺(tái)上開(kāi)設(shè)有凹槽，所述凹槽內(nèi)間隔設(shè)置有多個(gè)吸盤(pán)，所述吸盤(pán)用于支撐晶圓，兩個(gè)所述活動(dòng)板相互配合用于固定晶圓。本實(shí)施例的夾持裝置能夠增強(qiáng)晶圓夾持的穩(wěn)定性和可靠性，使得晶圓不會(huì)從夾持裝置掉落。