一種基板作業(yè)平臺(tái)及基板作業(yè)平臺(tái)的控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110517204.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113387132A 公開（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113387132A 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) B65G35/00（2006.01）I;B65G47/22（2006.01）I;G02F1/13（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 沈洪星;劉晏;石斌;熊海軍;趙葉軍;宋曉波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥欣奕華智能機(jī)器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 丁睿
地址 230013安徽省合肥市新站區(qū)龍子湖路與荊山路交口西南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，公開一種基板作業(yè)平臺(tái)及基板作業(yè)平臺(tái)的控制方法，該基板作業(yè)平臺(tái)，包括：用于承載基板的承載臺(tái)，所述承載臺(tái)具有若干個(gè)開口區(qū)，所述開口區(qū)任意組合形成用于承載至少兩種規(guī)格基板的承載區(qū)；與所述開口區(qū)對(duì)應(yīng)的氣流調(diào)節(jié)組件，所述氣流調(diào)節(jié)組件可單獨(dú)控制與其對(duì)應(yīng)的開口區(qū)的氣流狀況。用于實(shí)現(xiàn)不同規(guī)格基板運(yùn)送，并且解決基板在運(yùn)送過程中發(fā)生翹曲問題。