一種光源波長掃描光譜共焦傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110366573.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113108696A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN113108696A 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01B11/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 董寧;曹桂平;王雪 申請（專利權）人 合肥埃科光電科技股份有限公司
代理機構 合肥天明專利事務所（普通合伙） 代理人 苗娟
地址 230088安徽省合肥市高新區(qū)燕子河路388號億智科技產業(yè)園1號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的一種光源波長掃描光譜共焦傳感器，包括可調諧濾波器和光纖環(huán)形器；寬譜光源發(fā)出的連續(xù)光，經過可調諧濾波器后變成單色光，其波長通過可調諧濾波器進行精細控制；單色光耦合到Y型光纖環(huán)形器的輸入端A，并從另一端光纖C點輸出；從C點出射的單色點光源經過色散鏡頭匯聚到光軸上，不同波長的光匯聚點不同，行成一條色散焦線；當被測物體表面位于色散焦線上時，光被表面反射，再經過色散透鏡，被光纖C點接收，進而從光纖環(huán)形器B端輸出，被光強探測器探測到。本發(fā)明利用鎖相放大器可以有效抑制背景光的干擾，通過控制光源波長，可以只在滿足共焦條件的峰值波長點附近進行掃描，也可通過變步長搜索峰值波長，獲得較高的分辨率和測量速度。