一種光源波長(zhǎng)掃描光譜共焦傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110366573.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113108696A 公開(kāi)(公告)日 2021-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN113108696A 申請(qǐng)公布日 2021-07-13
分類號(hào) G01B11/02(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 董寧;曹桂平;王雪 申請(qǐng)(專利權(quán))人 合肥??乒怆娍萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 苗娟
地址 230088安徽省合肥市高新區(qū)燕子河路388號(hào)億智科技產(chǎn)業(yè)園1號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的一種光源波長(zhǎng)掃描光譜共焦傳感器,包括可調(diào)諧濾波器和光纖環(huán)形器;寬譜光源發(fā)出的連續(xù)光,經(jīng)過(guò)可調(diào)諧濾波器后變成單色光,其波長(zhǎng)通過(guò)可調(diào)諧濾波器進(jìn)行精細(xì)控制;單色光耦合到Y(jié)型光纖環(huán)形器的輸入端A,并從另一端光纖C點(diǎn)輸出;從C點(diǎn)出射的單色點(diǎn)光源經(jīng)過(guò)色散鏡頭匯聚到光軸上,不同波長(zhǎng)的光匯聚點(diǎn)不同,行成一條色散焦線;當(dāng)被測(cè)物體表面位于色散焦線上時(shí),光被表面反射,再經(jīng)過(guò)色散透鏡,被光纖C點(diǎn)接收,進(jìn)而從光纖環(huán)形器B端輸出,被光強(qiáng)探測(cè)器探測(cè)到。本發(fā)明利用鎖相放大器可以有效抑制背景光的干擾,通過(guò)控制光源波長(zhǎng),可以只在滿足共焦條件的峰值波長(zhǎng)點(diǎn)附近進(jìn)行掃描,也可通過(guò)變步長(zhǎng)搜索峰值波長(zhǎng),獲得較高的分辨率和測(cè)量速度。